把看過matrix中的英文或是簡稱,
整理一下,不然人家在說什麼我都有聽沒有懂。
其他有問號的,請有看到的朋友幫我解釋一下囉,謝謝^^

還有分隔線下面,是在看Paper時候,發現不懂的名詞~
去奇摩知識搜尋的,
還有網友的解釋還有回答。
等想到其他的,再慢慢補上好了~~



BULK GAS=大宗氣體供應

Cooling Tower =>冷卻水塔

Ceiling=>天花板

PCW=>製程冷卻水 (Process Cooling Water)

FFU=>風車濾網機組 (Fan Filter Unit)

DI=純水

DC PUMP=乾盤管用的泵浦  (Dry Coil Pump)    還是指直流泵啊??

CDA=潔凈壓縮空氣  (Compressed Dry Air或Clean Dry Air)???

CDS=中央供酸系統  (Chemical Dispensing System)

IQC RM = 品管室

MIS/CIM=電腦管理資訊室=中控室

HV 因該是高真空  (High Vacuum)

PV 製程真空  (Process Vacuum)

Purifier 純化

RO=逆滲透...

TFT=薄膜電晶體

Waffle Slab=因該是板模的意思吧???

RAISED FLOOR =高架地板

Steam=蒸氣

Special gas 特殊氣體

Scrubber 洗滌塔




Wafer【晶圓片】:
經由晶圓(圓柱狀)切成的片狀物,
就是晶圓片,
在未經過任何半導體製程的情況下,
晶圓片表面看起來就光亮的像一面鏡子。


Photolithography&patterning【光蝕刻微影技術與成形】:
光微影製程,
必須在黃光室進行,
所以業界所謂的黃光工程師,
就是負責光微影製程的人員。


n-type doping by diffusion or ion implantation【N型態由擴散作用或離子植入技術摻雜】:
在製作半導體元件時,
常藉由摻雜(doping)添加物來調整半導體材料的導電度,
製程上有擴散(Diffusion)和離子植入(Ion implantation)兩種方式,
依摻雜物種類的不同,
可分成 P 型態(P type)及 N 型態(N type)兩種。


p-type doping by diffusion or ion implantation【P型態由擴散作用或離子植入技術摻雜】:
在製作半導體元件時,
常藉由摻雜(doping)添加物來調整半導體材料的導電度,
製程上有擴散(Diffusion)和離子植入(Ion implantation)兩種方式,
依摻雜物種類的不同,
可分成 P 型態(P type)及 N 型態(N type)兩種。


Oxidation patterning【氧化成形】

Evaporation or sputtering 【蒸鍍 或 濺鍍】:
這兩個都是物理氣相沉積(PVD)的製程技術之一。

Layout of IC diode 【積體電路二極體的佈局】




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